Lớp phủ giống như kim cương DLC là một màng mỏng vô định hình có thể di động, có đặc tính chất lượng cao của kim cương và than chì, và có lợi thế của độ cứng tốt, độ dẫn nhiệt, hệ số ma sát thấp, hiệu suất điện cách điện tuyệt vời, độ ổn định hóa học cao, v.v. Lớp phủ DLC chủ yếu được điều chế bằng phương pháp tích lũy pha hơi vật lý và phương pháp tích lũy pha hơi hóa học, và được sản xuất bởi các thiết bị tích lũy đặc biệt. Sau đây là phần giới thiệu ngắn gọn về năm phần tạo nên thiết bị lắng đọng lớp phủ.
1. Hệ thống làm mát và làm mát nước
Hệ thống sưởi ấm và hệ thống làm mát nước được phân phối đều xung quanh phòng tích lũy, và nhiệt độ gia nhiệt, tốc độ và khối lượng nước có thể điều khiển và điều chỉnh, và thiết bị báo động tương ứng được lắp đặt; Hệ thống quay được đặt ở dưới cùng của buồng tích lũy và được cách điện bằng gốm cách điện, và tốc độ quay có thể điều khiển và điều chỉnh.
2. Hệ thống chân không
Hệ thống chân không bao gồm một bơm cơ học, bơm rễ, bơm khuếch tán và các van điều khiển tương ứng và các yếu tố đo, có thể tự do chuyển đổi giữa chân không cao và thấp theo yêu cầu của quá trình.
3. Hệ thống cung cấp khí
Hệ thống cung cấp khí được đặt trên đỉnh của buồng tích lũy và các giống khí bao gồm H2, N2, AR, CHA, C2H2 và khí chứa SI và hai giao diện được bảo lưu ở đầu buồng tích lũy để tạo điều kiện cho việc bổ sung các loại khí khác trong tương lai.
Để có được lớp chuyển tiếp có chứa SI, SIH4 thường được sử dụng làm khí vật liệu, nhưng SIH4 nguy hiểm hơn, vì vậy chúng tôi chọn khí chứa Si ít nguy hiểm hơn làm nguồn SI trong quá trình xử lý lớp phủ.
4. Hệ thống mục tiêu xếp chồng
Thiết bị có hai đơn vị xếp chồng, PVD và PCVD, ý định chính của đơn vị PCVD là để tích lũy giống như kim cương (DLC), nguồn cung cấp được chọn là nguồn điều chỉnh xung, các tham số có thể được điều chỉnh sau khi điều chỉnh theo thời gian và độ dày của độ dày và độ dày của độ dày và độ dày của độ dày và độ dày. Nó cũng có thể được phủ trên phôi phức tạp; Ý định chính của đơn vị PVD là: (1) Đối với các chất nền khác nhau, các mục tiêu khác nhau có thể được thay thế bằng các mục tiêu khác nhau và các lớp kết dính khác nhau hoặc lớp phủ DLC pha tạp kim loại có thể phát triển các yếu tố khác nhau; (2) Sau khi thay thế mục tiêu, một loạt các lớp phủ tổng hợp của "Lớp chức năng + DLC" cho các loại khác nhau có thể được hình thành.
5. Hệ thống điều khiển điện
Hệ thống điều khiển điện áp dụng điều khiển hoạt động đầy đủ PLC, bao gồm máy tính chủ, bộ điều khiển lập trình PLC, bộ chuyển đổi thích ứng, cung cấp năng lượng điều khiển, hệ thống đo điện kiểm soát chân không và hệ thống đo điện kiểm soát không khí, hệ thống kiểm soát nhiệt độ, thiết bị phát hiện ra khỏi thiết bị được thiết bị, v.v. trong thời gian thực. Nếu có vấn đề, thiết bị sẽ chủ động để báo động và theo mức báo thức, thiết bị sẽ chọn điều kiện "chờ" hoặc dừng trực tiếp và tiếp tục hoạt động sau khi bị loại bỏ báo động. Các hồ sơ hoạt động và hồ sơ báo động của mỗi lò được lưu trữ tích cực trong máy tính để dễ dàng tham khảo. Theo các yêu cầu, thiết bị có thể được thay đổi thành hoạt động hoàn toàn thủ công và các tham số lớp phủ có thể được điều chỉnh trong giao diện hoạt động chính trong quá trình phủ.